高溫爐

曝光機

建構高溫環境完備P、N型材料擴散。

黃光室光罩曝光機經由曝光機所發出紫外光對晶片上光阻照射，可將光罩圖騰轉譯至晶片

電子鎗真空蒸鍍系統(E-Gun)

快速熱退火(RTA)

用電子束轟擊目標靶材，使晶片上形成一層薄膜。

用極快的升溫，可將材料表面結構重組、缺陷的減少。

表面輪廓儀(Alpha-Step)

旋轉塗佈機(Spin Coater)

1.表面粗糙度量測

2.表面輪廓量測。

將光阻劑、溶液均勻旋開至晶片表面。

反應離子蝕刻系統(RIE)

濺鍍機(sputter)

利用電漿體強化後的反應離子氣體轟擊目標材料，來達到刻蝕。

可蝕刻材料：光阻、二氧化矽、氮化矽

利用電漿正離子轟擊材料，將靶材原子擊出而濺射沉積於半導體晶片上而形成薄膜。

比賽名稱

獲獎名次

學生

2018全國技專院校學生實務專題製作競賽成果展

作品名稱：智慧辨識混光鎖具

第三名

王鼎元、林伯儒、劉至庭、

張竣翔、張軒誌、許曾國瑋

2017  台北國際發明展暨技術交易展

作品名稱：自動化光電量測平台

銀牌獎

王梓睿、魏上又、羅晉德、蕭名原、劉佩穎

2016  美國匹茲堡發明展

作品名稱：光觸發的鑰匙與鎖具

銀牌獎 /特別獎

謝昀劭

2015  首爾國際發明展

作品名稱：以光為媒介之電子鎖匙

發明大賞

特首獎

林峰正

2014  全國技專校院學生實務專題製作競賽暨成果展-生技醫農類群

作品名稱：定置網漁業可攜式即時環境監測系統

第一名

林建誠、蔡青祐、許嗣皓

2012  100學年度海洋工程學院實務專題競賽

作品名稱：同步電壓電流供應及檢測儀

優等

吳韋德、呂冠廷

2012  100學年度海洋工程學院實務專題競賽

作品名稱：光鑰匙

佳作

蘇彥瑚、饒皓源、陸韋辰

2010  98學年度海洋工程學院實務專題競賽

作品名稱：低耗電高亮度可調變閃爍多組光色之(水下集魚燈具二)

佳作

李宜成、許仁誌

2010  98學年度海洋工程學院實務專題競賽

作品名稱：利用InP化學蝕刻特性應用於通訊光檢測器

佳作

謝舒姍、張玉珊

2007  南區技專校院師生產學合作實務專題製作競賽---海洋領域

作品名稱：低耗電高亮度可調變光色之(水下集魚燈具)

亞軍

陳彥宏、蔡旻軒

2004  臺灣區國民中學以上學校電腦化運動競技大賽---機器人相撲組

第三名

黃致瑋