國立高雄科技大學　半導體工程系

半導體量測與微電子感測實驗室

Semiconductor Measurement and Microelectronics Sensing

實驗室指導教授：楊誌欽老師

實驗室位置：楠梓校區大仁樓6403實驗室

實驗室電話：(07)361-7141轉23384

實驗室簡介

　　本實驗室具備材料製作與特性之研究、元件製程及量測分析，實驗室目標包含研究方向為半導體感測元件(包含溫溼度感測元件、濁度感測元件、紫外線感測元件、氣體感測元件、生物晶片等)與射頻分頻多值系統(包含射頻辨識元件、分頻元件、多值記憶元件等)。實驗室設備半導體量測與微電子感測實驗室設備，包含金屬濺鍍機及真空蒸鍍機兩部可進行製程成長設備，可作為材料研究、元件製備，量測設備可進行材料、元件分析，量測設備分別是霍爾量測系統、四點探針、阻抗分析測、兩端三端電壓電流量測儀，再加工設備有快速熱退火系統與高溫爐，及本實驗室備有兩間獨立無塵空間，分別是清洗室及黃光室。

研究領域

1.氧化鋅陽極氧化鋁基板作為呼吸感測器元件開發

2.氧化鋅陶瓷材料濕度感測元件開發

3.氮摻雜二氧化鈦金氧半場效應濕度感測元件研究

4.銦鎵氧化鋅薄膜電晶體氧氣感測元件研究

5.氮化銦呼吸感測元件之開發

實驗室儀器設備

濺鍍機	蒸鍍機

生醫感測材料與元件製作	生醫感測元件電極製作
環境參數量測儀	退火爐

生醫感測元件濕度量測	生醫感測材料退火
四點探針量側儀	霍爾量測儀

生醫感測材料電特性量測	生醫感測材料電特性量測

實驗成果

1.Ting-Hao Liu, Chih-ChinYang*, Shun-Hsyung Chang, and Yan-Ren Li Jhang, Impedance Properties ofNitrogen Oxide Compound in Detection of Relative Humidity, 2018 International Conference on "Physics and Mechanics of New Materials and their Applications" (PHENMA 2017) Busan, Republic of Korea, August 9-11, 2018.ISBN-978-89-5562-598-1

2.Chih-Chin Yang*, Humidity sensing and resonant tunneling properties of indium nitride p-n device”, Microelectronic Engineering, Vol:171, No: 1, pp. 1-5, (SCI)(EI) 5 March 2017.

專利

1.Chih Chin Yang, Humidity Sensing Structure with Indium Nitride Sensing Layer, No.:104NP001642,R.O.C., Utility Model Patent M533211, 2016.12.1-2026.7.11., December 01, 2016.

2.Chih Chin Yang, Humidity Sensing Structure with Indium Nitride Sensing Layer,，R.O.C., Invention Patent I615609 (2018.02.21-2036.07.11) Jan. 21, 2018.