國立高雄科技大學　半導體工程系

半導體光電磊晶材料暨元件實驗

Semiconductor Epitaxial Materials and Devices Laboratory

實驗室指導教授：張永昇老師

實驗室位置：楠梓校區致遠樓3409實驗室

實驗室電話：(07)361-7141轉23368

實驗室簡介

　　本實驗室具備半導體液相磊晶成長設備(Liquid Phase Epitaxy)，可藉以磊晶成長半導體於同質(Homo Epitaxy)或異質(Hetero Epitaxy)基板上。同質磊晶可形成薄膜，用於微電子元件如MOSFET或光電元件如LED、LD之研發；異質磊晶則可形成量子點(Quantum Dot)，可進而藉以研發高效率之光電元件如Solar Cell、LED、LD等。

實驗室全景

研究領域

1.GaAs on Si

2.Ge Quantum Dots on Si

3.Epitaxy of Compound semiconductors on Si

4.Ⅲ-Ⅴ Optoelectronic Devices on Si

5.Ⅲ-Ⅴ&Ⅳ based Electronic Devices on Si

實驗室儀器設備

液相磊晶成長設備

實驗成果

本實驗室迄今已利用液相磊晶成長設備成功研發出GaAs on Si、Ge Quantum Dots on Si等光電子及微電子磊晶材料，續將用以進行光電子及微電子元件之研發。