微電子暨系統晶片實驗室半導體製程實驗 

 半導體量測實驗室微電子專題製作室 客製化應用晶片設計及量測 

奈米科技實驗室 固態元件暨系統

微電子暨系統晶片實驗室

負責老師: 葉旻彥 老師
實驗室分機:3356

DC Power 函數信號產生器

ARM

DC POWER

函數信號產生器

ARM

數位電表 曝光機

數位電表

曝光機

SOC實驗室規劃為大學部課程的需求,開設相關單晶片微控器軟硬體實習課程,幫助學生了解單晶片微控器整體軟硬體架構之應用,以建立具備開發各種單晶片微控器產品的能力,使學生進入職場後能迅速發揮所長,並透過專題製作及研究計畫之進行,以發揮本實驗室整個開發環境與平台的最大功效。

除此之外配合本校海洋工程領域之應用,可開發相關應用之感測模組應用系統,本實驗室目前規劃的設備有微控器平台、嵌入式平台、USB資料擷取器、混合信號示波器。

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半導體製程實驗室

負責老師: 黃成樑 老師
實驗室分機:3366

光阻塗佈機

晶片研磨機 倒立式金相顯微鏡

光阻塗佈機

晶片研磨區

倒立式金相顯微鏡

超音波洗淨機 曝光顯影系統 快速熱退火系統

超音波洗淨機

曝光顯影系統
快速熱退火系統
金屬真空濺鍍機系統 Ulvac真空蒸鍍機 感測器環境測試系統

金屬真空濺鍍機系統

真空蒸鍍機

感測器環境測試系統

晶片清洗平台與DI系統

晶片清洗平台與DI系統

半導體製程實驗室目前的設備大致可分為三類:

第一類設備有RF真空濺鍍系統、真空蒸鍍機兩部材料成長設備,可作為材料研究,或製作半導體元件。

另外配合超純水過濾系統、微波加熱器、超音波洗淨機…等,可作晶元清洗之用。

第三類設備為微影部分,使用光阻塗佈機和2005年底前購入之aligner,可在黃光實驗室來進行製作電路pattern 之處理。

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半導體量測實驗室 

負責老師: 楊誌欽 老師
實驗室分機:3367

電鍍槽系 電路雕刻機 Keithley Model 595 Quasistatic CV Meter
近穩態電容量測系統

電鍍槽系

電路雕刻機

近穩態電容器量測系統

Keithley Model 2400
電壓電流測量設備
電阻電容及電感量度儀 晶片盒真空封裝機

電壓電流測量設備

電阻電容及電感量度儀

晶片盒真空封裝機

Keithley Model 2420
高電流電壓測量設備
UDT S-370
近紅外線波長可調式光功率計
HP8163A 1550nm DFB laser
 and Power meter
波長1550nm通訊用雷射與光功率計

高電流電壓測量系統

近紅外線波長可調式光功率計

波長1550nm通訊用雷射與光功率計

霍爾量測系統 Thorlabs MDT 630A
奈米級高精度XYZ移動平台
高功率通訊用雷射
霍爾量測系統

奈米級高精度xyz移動平台

高功率通訊用雷射

光學膜厚與折射率量測計 SEM-掃描式電子顯微鏡 光學桌、光學桌架與光電元建量測平台

光學膜厚與折射率量測計

SEM-掃描式電子顯微鏡

光學桌、光學桌架與光電元建量測平台

本實驗室成立於91年,目前有電壓電流量測儀、電容電壓量測儀、高功率電壓電流量測儀、300倍電子顯微鏡探針座、雜訊屏蔽量測系統、精密電路板雕刻機、霍爾量測儀、四點探針量測儀、光學量測系統及真空蒸渡系統等設備。

目前研究方向為半導體生物感測元件(包含溫溼度感測元件、濁渡感測元件、紫外線感測元件、氣體感測元件、生物晶片等)與射頻分頻多值系統(包含射頻辨識元件、分頻元件、多值記憶元件等),目前已增取到許多國科會、教育部、產業界研究計畫,並已發表多篇論文及研究報告。

未來將朝向開發新型半導體量測技術與生物基因方向努力。

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微電子專題製作室 

負責老師: 吳晉昌 老師
實驗室分機:3362

雕 刻 機

電 源 供 應 器

示 波 器

函 數 信 號 產 生 器

鑽 孔 機

裁 板 器

 

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客製化應用晶片設計及量測 

負責老師: 趙世峰 老師  
實驗室分機:3361

客製化應用晶片設計及量測 客製化應用晶片設計及量測 客製化應用晶片設計及量測

工作站伺候器主機一台(SUN Blade2000),工作站十一台(SUN Blade200),e-Motion網路式FPGA/DSP模組8套含2.4G/256MB高階宏砦q腦21部,單槍投影機教學,由區域網路連網際網路,有小研討室含8張研究生桌及伺服器桌一張,白板螢幕等。

軟體:購自國科會CIC晶片中心,計有CadenceI,II, Cadence-Allergo, Cadence-SPW

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奈米科技實驗室

負責老師: 微電子系辦  
實驗室分機:3372

Atomic layer deposition (ALD)

抽氣櫃與超音波洗滌機

 Wet bench

電子顯微鏡量測平台 SEM

高溫擴散爐 Horizontal oven

烘箱 Oven

 

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固態元件暨系統實驗室

負責老師: 李致頤 老師  
實驗室分機:3373

LED效率量測系統

效率量測系統操作介面

數位螢光式示波器

 

個人電腦

研討室

 
 

 

 

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